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一种基于MIM波导技术的CMOS光谱仪制造技术
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下载一种基于MIM波导技术的CMOS光谱仪的技术资料
文档序号:18550867
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一种基于MIM波导技术的CMOS光谱仪,沿入射光线依次包括:光导纤维;容器皿,盛有溶液,设置于溶液支撑架上;第七金属层,与透过溶液的入射光线耦合;第七金属层的光学壁与第四金属层的光学壁相对设置;金属散射结构;包括设置于第四金属层和第七金属层...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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