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本发明公开一种半导体厂房与设备的异味监测电路，包括异味监测传感器和控制器，异味监测传感器与控制器相连，异味监测传感器将采集的异味信号传递至控制器，控制器根据异味信号控制排气装置工作并为异味监测传感器提供工作电压；所述控制器包括电源电路和开关...
该专利属于济南鲁晶半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过济南鲁晶半导体有限公司授权不得商用。

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