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基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器制造技术
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下载基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测微型传感器的技术资料
文档序号:18471946
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本实用新型公开了一种基于溅射薄膜技术的粘接界面应力和应变监测传感器,包括柔性扁平电缆、弹性结构体和金属敏感芯体。微型应力/应变传感器的弹性结构体内表面镀金属敏感芯体,形成金属薄膜敏感栅,并采用静电封装技术完成装配。将微型传感器埋入粘接界面,...
该专利属于陕西电器研究所所有,仅供学习研究参考,未经过陕西电器研究所授权不得商用。
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