下载一种光学真空镀膜系统的技术资料

文档序号:18468800

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本实用新型涉及材料加工装置技术领域,目的在于提供一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。所采用的技术方案是:一种光学真空镀膜系统,包括真空室、真空泵和侧窗板,所述侧窗板的底边与真空室侧壁铰接;所述侧窗板内壁设置环形牵引链,所述牵引链的水平段设置导轨...
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