下载用于利用结构化的光片照射检查试样的方法和设备的技术资料

文档序号:18465606

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本发明涉及一种用于用显微镜检查试样(24)的方法和设备。所述方法包括:利用光源产生照射光束(2)的步骤、利用分裂器件(1)将照射光束(2)在空间上分裂成至少两个子照射光束(3、4)的步骤、通过一个对于两子照射光束(3、4)共用的照射透镜(7...
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