下载支承结晶化玻璃基板和使用了其的层叠体的技术资料

文档序号:18463522

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本发明的支承玻璃基板是用于支承加工基板的支承结晶化玻璃基板,其特征在于,30~380℃的温度范围内的平均线热膨胀系数超过70×10‑7/℃且为195×10‑7/℃以下。...
该专利属于日本电气硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气硝子株式会社授权不得商用。

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