下载一种硅片脱胶固定装置的技术资料

文档序号:18460169

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本实用新型公开了一种硅片脱胶固定装置,包括底座,所述底座上固定有两个相互平行的支撑板,支撑板左右两侧设有第二滑槽,第二滑槽与支撑腿滑动连接,所述底座上表面固定有齿条,齿条设置在支撑板的右侧,齿条上方设置有与其相啮合的齿轮,齿轮安装在电机的主...
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