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本发明公开了一种校正高功率激光器M2测量系统热形变的装置及方法，沿光路依次设置标准平晶、功率衰减平行平板、第一楔板反射镜、第二楔板反射镜、分光镜、波前探测器和动态干涉仪；第二楔板反射镜设置于第一楔板反射镜的反射光路上；分光镜设置于第二楔板反...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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