下载一种基于AFM的微/纳观力-电耦合特性测量装置及其方法的技术资料

文档序号:18457438

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本发明提供了一种基于AFM的微/纳观力‑电耦合特性测量装置,包括压电驱动器、AFM探头、导电第二探针、激光发射器、显微镜、检测器和数据处理中心;柔弹性导电试样的两端通过夹具安装在固定架上;所述固定架上安装可移动的压电驱动器;所述固定架上安装...
该专利属于常州市利多合金材料有限公司;江苏大学所有,仅供学习研究参考,未经过常州市利多合金材料有限公司;江苏大学授权不得商用。

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