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一种原位补氧型扫描式电子束气相沉积IOC‑SEVD装置及其方法，该装置包括真空系统、e型电子枪、加热器、工件旋转夹持器和操控与显示模块，真空系统包括真空泵和真空腔体，e型电子枪包括电子枪发射座、电子枪偏转扫描磁场和旋转水冷坩埚，加热器包括加...
该专利属于湘潭大学所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭大学授权不得商用。

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