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本发明公开了一种等离子体处理气体中污染物的方法，通过对处理腔内分布式设置的电极独立地进行控制驱动，同时利用部分电极作为气体传感器，采集气体的浓度信息，根据采集到的气体浓度信息调整加载在电极上的驱动电压的参数，使得处理腔内形成的等离子体的处理...
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