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本发明涉及超精密检测技术领域，具体涉及一种超精密检测用平台，包括上下对应设置的固定平台和滑动平台，以及设置在两者之间的滑动机构，所述滑动机构包括滑轨和滑块，所述滑轨与固定平台刚性连接，所述滑块与滑动平台刚性连接，滑块沿滑轨滑动，其特征在于，...
该专利属于杨锦堂所有，仅供学习研究参考，未经过杨锦堂授权不得商用。

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