下载声波谐振器及制造声波谐振器的方法的技术资料

文档序号:18448696

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本公开提供一种声波谐振器及制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括:基板;谐振部,形成在所述基板的第一表面上;金属焊盘,通过形成在所述基板中的通路孔连接到所述谐振部;及保护层,设置在所述基板的第二表面上并且包括多个层,其中,所述多个层包括内...
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