下载一种发光二极管的制作方法的技术资料

文档序号:18447564

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本发明提出一种发光二极管的制作方法,包括工艺步骤:提供一磊晶片,包括衬底及发光外延层,并形成部分发光外延层;在部分发光外延层上形成掩膜层并进行图案化,形成图案化掩膜层;进行蚀刻工艺,使得发光外延层形成图案化凹凸结构;在图案化凹凸结构的凹坑中...
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