下载图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:18447436

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一种图像传感器及其形成方法,所述方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底包括并列的逻辑区域和像素区域,其中,在所述半导体衬底的正面,所述逻辑区域内形成有隔离结构;从所述半导体衬底的背面对所述逻辑区域进行刻蚀,以形成凹槽,其中,所述凹槽的底部...
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