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一种校准坐标测量机用激光尺制造技术
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文档序号:18446537
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本实用新型公开了一种校准坐标测量机用激光尺,包括激光干涉仪、干涉镜、反射镜、基座、导轨和测量球,所述激光干涉仪、干涉镜以及导轨固定设置在基座上,所述反射镜和测量球可滑动地设置在导轨上,且所述反射镜和测量球在导轨上同步移动,所述激光干涉仪用于...
该专利属于四川航天计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过四川航天计量测试研究所授权不得商用。
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