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本实用新型公开了一种数字化平面度标准装置，包括等倾干涉箱和数据处理机构，所述等倾干涉箱的箱体为具有开口的恒温装置，在所述等倾干涉箱的箱体内设置有光路组件、用于放置被检器具的工作台以及运动控制机构，所述被检器具在工作台上放置的位置与光路组件的...
该专利属于四川航天计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过四川航天计量测试研究所授权不得商用。

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