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一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法技术
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文档序号:18442815
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一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法,通过引入悬浮载荷平台的位移,对悬浮控制算法的输出进行非线性调制,补偿位移引起的静电力变化,从而消除静电负刚度,实现零刚度的悬浮隔振。本发明方法可以实现绝对零刚度隔振,对宽频段范围内的振动能实...
该专利属于中国空间技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国空间技术研究院授权不得商用。
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