下载一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法的技术资料

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一种面向静电悬浮式双级无拖曳平台的零刚度隔振方法,通过引入悬浮载荷平台的位移,对悬浮控制算法的输出进行非线性调制,补偿位移引起的静电力变化,从而消除静电负刚度,实现零刚度的悬浮隔振。本发明方法可以实现绝对零刚度隔振,对宽频段范围内的振动能实...
该专利属于中国空间技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国空间技术研究院授权不得商用。

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