下载微型流体控制装置的技术资料

文档序号:18442604

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一种微型流体控制装置包含一压电致动器及一壳体,其中压电致动器包含:悬浮板、外框、支架及防溢结构;其中支架连接于悬浮板与外框之间,且悬浮板、外框及支架的第一表面共平面,而防溢结构构成于外框与支架的第二表面之间,以令该外框与该支架保持一高度差。...
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