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一种通过外加磁场提高PVD管筒状工件镀膜深径比的方法技术
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下载一种通过外加磁场提高PVD管筒状工件镀膜深径比的方法的技术资料
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一种通过外加磁场提高PVD管筒状工件镀膜深径比的方法。本发明通过对管筒状通孔工件外端装夹磁场部件,为管筒状工件内部提供磁场,使在PVD多弧离子镀技术下的通孔工件内孔镀膜深径比提高至2倍。在一定程度上增加了工件孔内通镀的可能性,能够有效的提高...
该专利属于天津涂冠科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津涂冠科技有限公司授权不得商用。
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