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本发明提供一种MEMS可燃气体传感器及其加工方法，包括硅基底，硅基底的下表面设有2个绝热槽，上表面设有绝热层，绝热层表面设有对称分布且为多孔结构的第一贵金属催化层和第二贵金属催化层，第一贵金属催化层和第二贵金属催化层分别位于2个绝热槽的正上...
该专利属于苏州钽氪电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州钽氪电子科技有限公司授权不得商用。

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