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一种硅片单面清洗机制造技术
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下载一种硅片单面清洗机的技术资料
文档序号:18428264
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本发明公开了一种硅片单面清洗机,包括箱体、支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头,打开送料门,手动将硅片放置在放料板上,气缸回程,当斜面推头与楔形块接触后,随着气缸回程,4...
该专利属于苏州聚晶科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州聚晶科技有限公司授权不得商用。
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