下载一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器的技术资料

文档序号:18424143

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本发明公开了一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器,涉及传感器领域,尤其涉及一种圆柱形结构一体式谐振压力传感器,用于解决现有现有技术下石英谐振压力传感器敏感元件和结构之间采用粘贴方式带来的易老化、难定位、存在温度漂移、应力集中和量程小的问题,本...
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