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本发明公开了一种高压气体流量控制装置，包括流量阀、先导伺服阀以及位移传感器，流量阀包括阀体、阀座、阀套、阀芯、阀套端盖、下端盖、弹簧导向套和复位弹簧，阀体下端面固定有下端盖，位移传感器固定在下端盖上，阀体的轴向通孔内自下而上依次安装有弹簧、...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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