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本实用新型属于多层线路板等离子处理领域，其公开了一种精密超声等离子处理系统，包括：壳体、壳体上部的反应腔、壳体下部的控制腔，所述反应腔设置有封闭门，所述控制腔设置有控制腔门，在靠近封闭门的反应腔壳体处设置有等离子控制单元和人机界面；在所述反...
该专利属于达格测试设备(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过达格测试设备(苏州)有限公司授权不得商用。

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