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本实用新型涉及一种晶圆盒承载装置，其用以承载晶圆盒，晶圆盒用以承装8英寸晶圆片，晶圆盒承载装置包含：本体及充气系统。本体具有承载平台，承载平台设置有两个限位结构，两个限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面，承载面用以承载...
该专利属于华景电通股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华景电通股份有限公司授权不得商用。

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