下载一种基于氧化铌选通管和氧化锆阻变层的1S1R器件及其制造方法的技术资料

文档序号:18401926

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本发明涉及一种基于氧化铌选通管和氧化锆阻变层的1S1R器件及其制造方法。本发明的1S1R器件从下至上依次包括底电极层、氧化锆阻变层、氧化铌转换层和顶电极层;所述底电极层的厚度为100~300nm,所述阻变层的厚度为15~30nm,所述转换层...
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