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本实用新型涉及一种多晶硅全自动生产系统，包括多晶硅原料的处理装置，该装置包括原料检测筛选机、原料清洗装置和原料干燥装置，多晶硅原料的处理装置之后设有原料传输轨道，原料传输轨道的末端连接在多晶硅的铸锭装置上，多晶硅的铸锭装置包括坩埚喷涂装置和...
该专利属于浙江启瑞电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江启瑞电子有限公司授权不得商用。

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