下载滚轮总成及其梯级滚轮以及采用滚轮总成的基板输送方法的技术资料

文档序号:18362583

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本发明提供一种滚轮总成、梯级滚轮及基板输送方法。用于输送基板的滚轮总成包括梯级滚轮、第一输送轮及第二输送轮。梯级滚轮包括主轮、气缸以及两边缘轮。气缸套设在主轮上,且气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔。两边缘轮设置在主轮上,且两边缘轮分别位在气缸...
该专利属于东远机械工业(昆山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东远机械工业(昆山)有限公司授权不得商用。

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