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本发明提供一种滚轮总成、梯级滚轮及基板输送方法。用于输送基板的滚轮总成包括梯级滚轮、第一输送轮及第二输送轮。梯级滚轮包括主轮、气缸以及两边缘轮。气缸套设在主轮上,且气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔。两边缘轮设置在主轮上,且两边缘轮分别位在气缸...该专利属于东远机械工业(昆山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东远机械工业(昆山)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种滚轮总成、梯级滚轮及基板输送方法。用于输送基板的滚轮总成包括梯级滚轮、第一输送轮及第二输送轮。梯级滚轮包括主轮、气缸以及两边缘轮。气缸套设在主轮上,且气缸包括多个吹气孔及多个吸气孔。两边缘轮设置在主轮上,且两边缘轮分别位在气缸...