下载一种可调谐半导体激光器的技术资料

文档序号:18354849

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本发明属于光电子器件领域,公开了一种可调谐半导体激光器,包括:有源区、相位区和光栅区;有源区从下而上依次设置有第一衬底、第一缓冲层、第一波导层、有源层和第一覆盖层,在第一覆盖层上设有第一电极;相位区从下而上依次设置有第二衬底、第二缓冲层、第...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。

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