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一种压电器件及其制备方法技术
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文档序号:18353667
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本发明提供一种压电器件,包括从上到下依次设置的上电极、压电层和下电极,压电层包括用于产生纵向波的c轴优选压电层;所述的压电层还包括设置在c轴优选压电层侧向、用于消除侧向波的非c轴优选压电层;所述的非c轴优选压电层的结晶特性与c轴优选压电层的...
该专利属于武汉衍熙微器件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉衍熙微器件有限公司授权不得商用。
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