下载一种无源器件堆叠结构及其制作方法的技术资料

文档序号:18353421

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本发明实施例提供了一种无源器件堆叠结构及其制作方法,该无源器件堆叠结构包括:基底;至少两层金属层,位于基底的一侧,金属层依次堆叠设置,金属层包括第一无源器件;金属柱层,位于任意相邻两层金属层之间,每层金属柱层包括至少一个金属柱,不同金属层通...
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