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本发明公开了一种图形化蓝宝石衬底刻蚀用的托盘装置及装载方法，包括托盘本体，所述托盘本体的上表面设有用于固定蓝宝石衬底置的定位凹槽，铝托盘本体的上表面和定位凹槽的表面涂覆有导热介质层，定位凹槽的深度为100微米—300微米之间，定位凹槽的宽度...该专利属于东莞市中图半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市中图半导体科技有限公司授权不得商用。
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