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一种基于异质叠层非晶薄膜的平面锗硅及相关纳米线生长方法技术
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下载一种基于异质叠层非晶薄膜的平面锗硅及相关纳米线生长方法的技术资料
文档序号:18353214
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利用叠层非晶前驱体层制备异质或合金半导体纳米线的方法,1)在单晶硅衬底上,蒸镀设有图案的In、Sn、Ga金属或其组合合金,2)衬底放置PECVD系统,使用氢气等离子体处理样品,使得金属层转变催化液滴;氢气等离子体处理样品1‑10分钟后,呈现...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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