温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基于神经网络的OPC模型生成方法及实验图案的预测方法。基于神经网络的OPC模型生成方法包括：S11：计算设定光刻工艺条件下的内核组，内核组包括n个成像内核；S12：获取各测试图案的各定义位置处的成像信号值集合，所述成像信号值集...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。