下载一种反射镜调节与固定装置的技术资料

文档序号:18348782

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本发明公开了一种反射镜的调节与固定装置,包括调节机构支架、反射镜五维调节装置、反射镜安装座、反射镜自适应固定装置。反射镜置于反射光路中,反射镜五维调节装置用于实现其与其它光学元件的相对位置调节,反射镜自适应固定装置用于调节后反射镜的固定。通...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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