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溅射靶-背衬板接合体制造技术
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下载溅射靶-背衬板接合体的技术资料
文档序号:18339096
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本发明涉及溅射靶‑背衬板接合体。一种溅射靶‑背衬板接合体,其为使用焊接材料将溅射靶和背衬板接合而得到的溅射靶‑背衬板接合体,其特征在于,将溅射靶和背衬板之间的焊接材料的外周用熔点为600~3500℃且轴向截面形状为圆形、椭圆形或矩形的线状材...
该专利属于捷客斯金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过捷客斯金属株式会社授权不得商用。
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