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本发明提供了一种高硬度和高耐蚀性高熵合金氮化物涂层,其分子式为(AlCrTiZrNbV)N。本发明还提供了上述涂层的制备方法首先对基体进行清洗,然后进行离子清洗;将上述处理后的基体送到溅射室进行沉积TiN过渡层,Ti靶材由直流阴极控制,沉积...该专利属于上海新弧源涂层技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新弧源涂层技术有限公司授权不得商用。
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