下载一种高硬度高耐蚀性高熵合金氮化物涂层及其制备方法的技术资料

文档序号:18339073

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本发明提供了一种高硬度和高耐蚀性高熵合金氮化物涂层,其分子式为(AlCrTiZrNbV)N。本发明还提供了上述涂层的制备方法首先对基体进行清洗,然后进行离子清洗;将上述处理后的基体送到溅射室进行沉积TiN过渡层,Ti靶材由直流阴极控制,沉积...
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