下载基于光刻的喷丝毛细孔加工方法的技术资料

文档序号:1833502

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一种基于光刻的喷丝毛细孔加工方法属于化纤生产技术领域。本发明首先根据喷丝毛细孔的形状制作掩膜板,然后在导电基底上形成均匀的厚光刻胶层,接着进行紫外曝光,再进行电铸得到金属结构,最后去除喷丝毛细孔内光刻胶。本发明采用厚胶紫外光刻技术来解决喷丝...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

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