温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种以压电陶瓷为激励源的MEMS微结构四轴式激振装置，包括套筒和底板，压电陶瓷，压力传感器，上、下联接块以及弹性支撑件和MEMS微结构；在套筒上端设有环形顶板，微结构通过弹性支撑件设在环形顶板上；在环形顶板和底板之间均布有导向轴，...
该专利属于渤海大学所有，仅供学习研究参考，未经过渤海大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。