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本发明涉及IC装备制造业特种焊接技术，是一种铝合金刻蚀真空反应腔体磁铁零件激光填丝焊接工艺，是采用先进激光填丝焊接技术将3mm厚磁铁密封盖板与300mm主体真空腔体进行焊接的焊接工艺。焊前进行化学清洗、焊接过程、组装过程以及焊后处理在万级洁...
该专利属于沈阳富创精密设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳富创精密设备有限公司授权不得商用。

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