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一种三室结构的真空液态源制造技术
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下载一种三室结构的真空液态源的技术资料
文档序号:1830428
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本实用新型涉及一种“三室结构”的真空液态源,其特征在于:它包括注入口、外室、手动阀、标准室、内室、加热筒、加热块、密封圈、异形过渡件。本装置能将空气与真空有效隔离,标准室同时起到了量具和加速冷却的作用。内室能提供一个有效的液、汽相平衡区,最...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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