下载MCZ硅单晶炉用超导磁体励磁高频开关电源的控制方法的技术资料

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本发明公开了MCZ硅单晶炉用超导磁体励磁高频开关电源的控制方法,针对MCZ硅单晶炉用超导磁体励磁电源,将增量式控制与传统模糊滑模控制相结合,设计了基于增量式切换项的模糊滑模变结构控制方法。本发明利用滑模控制具有较强鲁棒性的优点,提高系统的动...
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