下载包含角部凹陷的半导体装置的技术资料

文档序号:18303326

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公开了一种半导体裸芯,其包含角部凹陷,以避免制造过程中半导体裸芯破裂。在从晶片切片半导体裸芯之前,可以在晶片中、半导体裸芯的任意对之间的角部处形成凹陷。可以通过激光或光刻工艺在半导体裸芯之间的切口区域中形成凹陷。一经形成,角部凹陷防止半导体...
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