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本实用新型提供一种晶圆氧化膜边缘去除机，它包括工作箱，位于箱体底部的氢氟酸槽，氢氟酸槽的上方设一工作台，工作台上装有转动轴，转动轴上装有转轮，转轮上有由布条包覆形成的布袋，布袋的一部分浸入氢氟酸槽，转轮上方设有片架，转轮上的布袋与放入片架中...该专利属于北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司授权不得商用。