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多孔洞检测系统、装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:18301052
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一种多孔洞检测系统、装置及方法,系统包括发光模块、检测模块与分析模块。发光模块发射光线以分别通过待测物的多个孔洞。检测模块包括具有多个非圆形孔的多孔板与多个分别对应多个非圆形孔的感光单元,且每一个非圆形孔在一个时间点最多只对应至多个孔洞中的...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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