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改进的导模法及其设备所用湿尖导模制造技术
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文档序号:1830032
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EFC生长空心晶体的新颖毛细导模及晶体生长方法。内、外环形迁围绕导模尖部。熔体从坩埚通过通道输送到沟,空心晶体生长过程中,沟中熔体湿润并覆盖内部、外部外侧表面。新颖导模结构有较低的导模尖部和较短毛细槽。可保持围绕导模尖部周边的温度基本均匀,...
该专利属于ASE美国公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASE美国公司授权不得商用。
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