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用多晶硅炉料制备硅熔体的方法技术
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文档序号:1829697
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一种用多晶硅炉料制备硅熔体的方法,该硅熔体用于按照丘克拉斯基方法制取单晶硅锭。制备硅熔体所用的坩埚为底、侧壁结构,其中心线基本上平行于侧壁并截过底面几何中心点,半径为从中心线到侧壁的距离。本方法中,将块状多晶硅装入坩埚形成碗状炉料,其中炉料...
该专利属于MEMC电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过MEMC电子材料有限公司授权不得商用。
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