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一种桶形外延反应器，用于使用一种反应剂气体，通过化学气相沉积过程，在半导体晶片上沉积一层材料。桶形反应器包括一容器，该容器限定一反应室，反应室的尺寸设计成至少可容纳一半导体晶片。容器具有：一进气口，用于向所述反应室引入反应剂气体；一出气口，...
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