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一种反应器，用于对装在反应器内的半导体晶片，通过化学气相沉积工艺沉积一层外延层。反应器包括：反应室，其尺寸和形状设置成用于容纳半导体晶片；进气口通道，与反应室连通，用于输送反应剂气体进入反应室。此外，反应器包括衬托器，设置在反应室内，用于在...
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